Šta je fotolitografija?
Fotolitografija je jedan od važnih procesa u proizvodnji integriranih kola (IC ili čipova). Jednostavno reći, to je proces kopiranja uzorka kola na podlogu korištenjem fotomaske i fotorezista.
Podloga će se farbati na izolacionom sloju od silicijum dioksida i fotootpornosti. Fotorezist se može lako otopiti pomoću razvijača nakon izlaganja UV svjetlu, nakon što se rastvara i ugravira, uzorak kola će ostati na podlozi.
Šta je Photoresist? Zašto se UV talasna dužina od 500 nm mora blokirati?
Fotorezist se kombinuje sa smolama, rastvaračima i aditivima. Opseg osjetljivosti na svjetlo fotorezista je 200nm-500nm. Stoga će mnoge laboratorije za poluprovodnike usvojiti žuto svjetlo koje blokira UV valnu dužinu od 500 nm kako bi spriječilo preeksponiranje fotootpornika ili prerano izložene situacije.
